Diendanraovataz.net - Diễn đàn rao vặt - Đăng tin mua bán - Quảng cáo miễn phí - Hiệu quả - Với một số dây chuyền sản xuất và hoạt động 300 mm, dữ liệu kiểm soát ô nhiễm bắt đầu hoạt động và chỉ ra các nguồn ô nhiễm trong các công cụ Anti Corrosion, cơ sở hạ tầng và bản thân silicon. Để giải quyết mối quan ngại này, một số loại phương tiện truyền thông đã được phát triển để giúp giảm thiểu nguy cơ Boron hoặc các loại chất bẩn khác của AMC (lọc không khí bẩn từ không khí) được đưa vào phòng sạch. Một trong số những ứng dụng phổ biến nhất đối với các ứng dụng 300 mm là các vật liệu sợi thủy tinh Glass and aluminium company có khả năng chống ăn mòn thấp hoặc các vật liệu PTFE "Non Boron" (Polytetrafluororethylene), có khả năng chống lại các chất vô cơ và hữu cơ. Do khả năng phục hồi của chúng, nên tuổi thọ của các phương tiện lọc được tăng lên rất nhiều với chi phí sở hữu thấp. Các bộ khung wafer 300-mm Khi lựa chọn đúng hệ thống lọc, chi phí sở hữu phải được xem xét kĩ lưỡng. Gần đây, (EEF) hệ thống lọc điện tăng cường là một trong những cách tiếp cận được xem xét là tối ưu để giảm chi phí hoạt động của một fab 300-mm. Khi EEF được sử dụng làm bộ lọc arts and crafts chính trong một loạt các bộ lọc đầu cuối, có thể giảm đáng kể áp lực xuống qua môi trường và do đó làm giảm mức tiêu thụ năng lượng tổng thể của căn phòng. Điều này cũng có thể được áp dụng cho các đơn vị AC, được sử dụng với các mô-đun bộ lọc để hỗ trợ cho màng trần thực hiện phân phối luồng không khí tốt hơn.
